Solutions for IC Slurry & Stripper
以CMP抛光液为核心,布局全系列配套材料,服务半导体全产业链
Chemical Mechanical Polishing (CMP) Slurry — FEOL/BEOL
化学机械抛光(CMP)是半导体晶圆制造中实现全局平坦化的关键工艺。CMP抛光液通过化学腐蚀与机械磨削的协同作用,实现对晶圆表面氧化硅、金属铜、阻挡层及先进介质材料的高精度平坦化处理。
公司CMP抛光液产品线覆盖FEOL(前道工序)和BEOL(后道工序)全系列,包含6大核心产品:
Photoresist Stripper
光刻胶剥离液是芯片制造中光刻胶去除的关键材料。光刻是芯片制造中实现电路图案转移的核心介质,决定了芯片的精细度与结构。使用高性能剥离液彻底清除残留物,如同"隐形手术刀",确保晶圆表面绝对洁净。
适用工序:贯穿芯片制造全流程 — 光刻后清洗、蚀刻后清洗、离子注入后清洗、封装前清洗。
Supporting Materials
围绕半导体制造全流程,公司同步布局了 CMP 后清洗液、显影液、除胶剂/划片液、导电银浆/助焊剂/灌封胶等全系列配套材料,为客户提供一站式化学材料解决方案。